气体混合装置3线

发布时间:2025-01-16 14:20:52
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气体混合装置3线

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产品规格

模型 BR-3C
类型 3线
机身尺寸 宽480×深390×高330mm
本体重量 37公斤
规格 控制方式:热式质量流量控制器控制 *1MFC精度:±1% S.P.~*2MFC响应:1秒内全流量范围 适用气体:空气、N2、O2、He、Ar、CO2、H2(其他腐蚀性气体、燃烧系统气体)*2 流量范围:1线10sccm~50SLM(但混合气体流量必须在100SLM以下) 耐压:800kPa 连接尺寸:Gas IN/Rc1/4 Gas OUT/Rc1/4 环境温度/湿度:5~50℃(保证精度:15~35℃)/10~80%RH 功耗:0.1kW 电源电压:AC100~240V、φ1、50/60Hz
* *1 气体混合比基于使用体积流量比的混合方法。 *2 有关气体类型、流量、压力范围和精度的详细规格,请联系我们。
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